Sensor tekanan digunakan untuk mengukur tekanan cairan dan gas. Jenis yang umum mencakup sensor tekanan piezoresistif silikon MEMS, sensor tekanan resonansi silikon MEMS, sensor tekanan kapasitif keramik, sensor tekanan kapasitif logam, sensor tekanan film tipis-sputter, dan sensor tekanan pengukur regangan logam. Skenario pengoperasiannya bervariasi tergantung pada prinsip kerjanya.
Sensor Tekanan Piezoresistif Silikon MEMS:Ini adalah jenis sensor tekanan yang paling banyak digunakan. Rentang pengukuran utamanya mencakup 15 kPa hingga 100 MPa, dengan akurasi tipikal berkisar antara 0,05% FS hingga 3% FS. Kisaran suhu pengoperasian biasanya -55 derajat hingga 180 derajat . Karena kompatibel dengan{11}}proses manufaktur semikonduktor skala besar, maka biayanya tidak mahal. Untuk pengukuran cairan, diperlukan kemasan isolasi berisi minyak.
Sensor Tekanan Resonansi Silikon MEMS: Sensor ini menggunakan desain cerdik yang mengubah tekanan menjadi perubahan frekuensi resonansi berkas mikro-. Karena frekuensi berkas hanya bergantung pada struktur dan suhunya, serta memanfaatkan efek penyaringan, sensor ini mencapai akurasi keluaran tinggi hingga 0,01% FS. Rentang pengukuran tekanan utamanya mencakup 100 kPa hingga 40 MPa, dengan kisaran suhu pengoperasian -55 derajat hingga 85 derajat. Karena proses manufaktur yang rumit dan biaya yang tinggi, produk ini cocok untuk aplikasi yang menuntut presisi sangat tinggi, seperti pemrosesan semikonduktor dan pengukuran kedalaman laut.
Sensor Tekanan Kapasitif Keramik:Bahan keramik menawarkan ketahanan aus yang sangat baik, sehingga sensor ini cocok untuk mengukur tekanan dalam campuran bubur pasir. Ini juga memberikan ketahanan korosi yang baik, memungkinkan pengukuran cairan korosif seperti asam sulfat. Selain itu, sensor tekanan berbasis keramik dapat menahan pembekuan air-sebuah fitur yang tidak dapat dicapai dengan sensor MEMS.
Sensor Tekanan Kapasitif Logam:Sensor ini menggunakan diafragma logam sebagai elektroda bergerak yang peka terhadap tekanan, membentuk kapasitor dengan elektroda tetap. Ketika tekanan bekerja pada diafragma, kapasitansi antara elektroda berubah, membentuk hubungan tekanan-kapasitansi. Diafragma logam dapat dibuat dari bahan tahan korosi seperti Inconel, dan dapat mengukur tekanan sangat rendah (0–1/10/100/1000 Torr). Akibatnya, ia memiliki aplikasi luas dalam pengukuran vakum dan pengukuran gas khusus di industri semikonduktor.
TergagapThin-filmSensor Tekanan & Sensor Tekanan Pengukur Regangan Logam:Kedua sensor dilengkapi bahan yang peka terhadap gaya yang dilapisi permukaan logam besar, menjadikan produk ini kuat dan tahan lama. Produk ini cocok untuk rentang tekanan tinggi dan aplikasi yang memerlukan keandalan tinggi, seperti barang kuning, mesin diesel, dan mesin bor terowongan. Sensor ini tidak mudah untuk dibuat menjadi sensor tekanan absolut dan biasanya dapat mencakup rentang maksimum hingga 200 MPa atau lebih tinggi. Gambar pertama di atas menunjukkan inti sensor film tipis-yang tergagap, sedangkan gambar kedua menunjukkan inti pengukur regangan logam.
Pemilihan sensor tekanan harus didasarkan pada kondisi pengoperasian aktual untuk memanfaatkan kinerjanya sepenuhnya. Teknologi Mihui berspesialisasi dalam sensor tekanan berdasarkan berbagai prinsip, menawarkan kemampuan desain, produksi, dan manufaktur yang lengkap untuk memberikan solusi yang paling sesuai kepada pelanggan. Selamat datang untuk menghubungi kami jika Anda tertarik:Nomor Telepon: +8618066965135; Surel: mihuitec@gmail.com
